Das Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) arbeitet an der Entwicklung neuartiger Mikro- und Nanostrukturen für Anwendungen in den Bereichen Life Sciences, Photonik und Nanoaktorik. Ein zentrales Fertigungsmittel für diese Arbeiten ist der in 2007 in Betrieb genommene Elektronenstrahlschreiber des IMT der neuesten Generation, mit dem kleinste Strukturgrößen herstellbar sind.
Негізгі бет E Beam: Mit Elektronen schießen
Пікірлер: 1